等距螺桿式真空泵又稱(chēng)為干式真空泵，是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的等距左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分

隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺桿與泵體之間都

有一定的間隙，泵工作時(shí)相互之間無(wú)摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低，且工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油.完全可以代替油封式機(jī)械泵、水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。

主要特點(diǎn)：

● 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

●能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射等氣體。

● 由于真空腔內(nèi)沒(méi)有油潤(rùn)滑，因此粉塵不會(huì)存留在泵腔內(nèi)，而是隨氣體從排氣口排出泵外。并且解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護(hù)和保養(yǎng)等問(wèn)題，節(jié)約使用成本。

●泵腔內(nèi)沒(méi)有任何的內(nèi)部閥門(mén)，排除了因內(nèi)部閥門(mén)而產(chǎn)生故障的可能性，因此對(duì)粉塵和焦油能力強(qiáng)。

●無(wú)廢水，廢油的的排放，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。

● 極限真空較高，可代替大部分羅茨水環(huán)以及羅茨往復(fù)式真空機(jī)組。

● 泵腔及螺桿表面可進(jìn)行鍍鎳以及滲哈氏合金涂層處理，可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕型介質(zhì)。

真空泵維修中應(yīng)注意的幾個(gè)要點(diǎn)

一、由于泵浦精度要求比較高，在維修前需要認(rèn)真檢測(cè)，不是非常必要?jiǎng)t不必拆開(kāi),以免檢修不當(dāng),降低精度。當(dāng)然涉及部分零部件性能變差或者零部件配套間隙變異時(shí)，需要對(duì)其進(jìn)行調(diào)整。

二、泵浦維修時(shí)，需要按部就班，不可硬拆、強(qiáng)拆。并要求對(duì)拆卸的泵浦零部件進(jìn)行排序標(biāo)示，一邊裝配時(shí)運(yùn)用。例如萊寶真空泵維修，可以按照先拆卸電機(jī)，聯(lián)軸器，端蓋、取出主軸等順序方法進(jìn)行。但不管哪種泵浦在裝配時(shí)都必須保證零部件的干燥與清潔。

三、總裝配。零部件和各真空室分別裝好后,要試使其轉(zhuǎn)動(dòng)一下,要保證其無(wú)阻滯絞絆現(xiàn)象。待.上面的前端蓋裝好后,即可從上向下穿入拉緊螺栓,拉緊后即可將機(jī)座放平。調(diào)整各真空室的進(jìn)氣管,使其在同一平面上,然后把拉緊螺栓擰緊,并試轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿,其轉(zhuǎn)力矩應(yīng)小于100公斤??公分,且無(wú)嚴(yán)重的局部阻滯感。.后裝好排氣閥門(mén)、單向閥等。這時(shí)可轉(zhuǎn)動(dòng)鏈輪。這樣各機(jī)座就已裝配完畢。 .后按前述拆泵時(shí)相反次序裝配箱體部分。注意保證密封處不準(zhǔn)漏氣，油密封室亦不準(zhǔn)漏油。在泵浦試運(yùn)轉(zhuǎn)之前，放入真空泵油至視油鏡的中心位置，然后進(jìn)行試抽，觀(guān)察泵浦的使用效果。